[发明专利]一种生产电子级氢气的方法和装置在审
申请号: | 201410398121.6 | 申请日: | 2014-08-13 |
公开(公告)号: | CN105439087A | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 陈朝霞 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B3/56 | 分类号: | C01B3/56;C01B3/52 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明公开了一种生产电子级氢气的方法和装置,该方法包括以下步骤:(1)将多晶硅生产中的尾气经过处理后得到的纯度为99.808~99.945%的氢气通过活性炭吸附剂进行吸附;(2)使用含有氢氧化钠和高锰酸钾的水溶液进行淋洗,得到电子级氢气。本发明中得到了纯度为99.9999%以上的电子级氢气,完全除掉了多晶硅生产中的尾气经过处理后得到的纯度为99.808~99.945%的氢气中的氯化氢、氯化硼、氯化磷、磷烷、CH3BCl2、(CH3)2PH等杂质,氢气净化效率高,将多晶硅生产中无法生产高纯多晶硅的废氢气净化后,变废为宝转化成高价值的电子级氢气。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 电子 氢气 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种生产电子级氢气的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将多晶硅生产中的尾气经过处理后得到的纯度为99.808~99.945%的氢气通过活性炭吸附剂进行吸附;(2)使用含有氢氧化钠和高锰酸钾的水溶液进行淋洗,得到电子级氢气。
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