[发明专利]一种离子源挡板在审
| 申请号： | 201410399143.4 | 申请日： | 2014-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105331944A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 韩滨;闫少健;付德春 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443500 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子源挡板装置，属于离子源技术改进领域。一种离子源挡板包括底板，两根旋转轴的一端穿过底板与气动阀机械连接，二根旋转轴分别固定一块不绣钢板。本发明优点在于，可保护离子源不受靶材污染，解决了离子源受靶材污染，影响再次镀膜效果的问题，方便使用，提高了产品质量和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 挡板 | ||
【主权项】：
一种离子源挡板，其特征在于：所述的离子源挡板包括底板（5），两根旋转轴（3）的一端穿过底板（5）与气动阀机（4）械连接，二根旋转轴（3）分别固定一块不绣钢板（1）。
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