[发明专利]一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法

摘要

本发明公开了一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法。以硝酸镁溶液为前驱液，通过超声雾化热分解的技术在NiW合金基片上外延生长氧化镁缓冲层。将清洁处理后的NiW合金基带固定于加热台上，并加热至580-630℃；以硝酸镁溶液为前驱液，利用超声雾化器将前驱液雾化喷涂在NiW合金基片，雾化喷涂采用喷涂20-60秒，停止40-120秒再重复喷涂的方式，总共持续10-30分钟，最后保温30-60分钟，从而得到MgO缓冲层。该方法无需真空系统，降低生产成本,且成膜速度快，提高生产效率。

主权项

一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法，其步骤如下：步骤一：对具有高度立方织构金属NiW合金基片进行清洁处理；步骤二：在稀释后浓度为30％‑50％的硝酸溶液中悬空浸渍40‑120秒，去除表面氧化，取出洗净晾干；步骤三：将清洁处理后的立方织构金属NiW合金基片固定于加热台上，并加热至580‑630摄氏度；步骤四：以硝酸镁溶液为前驱液，利用超声雾化器将前驱液雾化喷涂在NiW合金基片，雾化喷涂采用喷涂20‑60秒，停止40‑120秒再重复喷涂的方式，总共持续10‑30分钟；步骤五：雾化喷涂结束后保温30‑60分钟。