[发明专利]一类含芴的硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用

摘要

本发明涉及一类含芴的硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用。所述光生酸剂为含芴结构的硫鎓盐型光生酸剂化合物，其中R1为氢、甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、壬基和十二烷基；R2为甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、壬基和十二烷基；R3为甲基、苄基、4‑氰基苄基；R4为甲基、苄基、五氟代苄基、4‑氰基苄基、4‑硝基苄基、4‑三氟甲基苄基和3，5‑二‑(三氟甲基)苄基；R5为三氟甲烷磺酸根、六氟磷酸根、六氟锑酸根或四氟硼酸根。本发明的PAG适用于诸如313nm，365nm、385nm、405nm，425nm的紫外区到近可见光区成像的光刻胶光活性成分。此类光生酸剂合成步骤简单，易于提纯，产率高，在300nm～425nm区域内，此类光生酸剂用于光刻胶体系能制备出性能优良的光刻胶，体现出0.3～0.6的光生酸量子产率，光激发效率高，催化活性高。

主权项

一种含芴的硫鎓盐类光生酸剂，其特征在于所述光生酸剂为如下I或II式中任一种：其中：R1为氢或者甲基；R2为甲基；R3为甲基、苄基或4‑氰基苄基中任一种；R4为甲基、苄基、五氟代苄基、4‑氰基苄基、4‑硝基苄基、4‑三氟甲基苄基或3，5‑二‑(三氟甲基)苄基中任一种；R5－为反离子。