[发明专利]一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置无效
| 申请号： | 201410401263.3 | 申请日： | 2014-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN104259655A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 卢冬青 | 申请（专利权）人： | 上海功源自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/03 | 分类号： | B23K26/03;B23K26/042;B23K26/362 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是为了利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻划图案，用于相机图案的校正，直观的观测补偿的效果。可以通过以下技术方案来实现：1)利用全屏幕的尺寸，以晶圆的晶格为基础，辅助“十字”线薄膜定位和对中相机同步补偿激光图像，可以得到相机与激光的系统偏差；2)校正玻璃版，有五个“十字”窗，宽度2mm，长度10mm，定面贴黑色即时贴；3)“十字”薄膜：可视化检查，用于目测系统校正的结果；4)该对中系统的校正方法，其特征是利用玻璃片的透光原理来成像激光图案，借此设定对位相机的零位补偿。该发明具有成本低，使用便捷，精度高，可直接弥补相机和激光安装缺陷，提高应用精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 晶圆背刻 系统 校正 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置，本发明的特征利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻划图案，利用对位相机组合的背刻对中系统的校正方法。
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