[发明专利]一种用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀

摘要

本发明涉及一种泄压阀，具体为一种用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，包括上下对应连接的上阀体和下阀体，并在上阀体和下阀体内安装阀座，阀座内设有阀芯组件，所述上阀体内设有上阀体主通孔和上阀体主通孔下端的上阀体圆槽，所述上阀体主通孔与上阀体圆槽的中心轴线在一条直线且上阀体圆槽的直径大于上阀体主通孔的直径。本发明为一种用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，适用于安装在真空系统的旁路上，密封性好，在真空腔室出现异常时，该泄压阀可自动完成泄压动作，保证系统的安全、稳定运行。

主权项

一种用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，包括上下对应连接的上阀体（8）和下阀体（1），并在上阀体（8）和下阀体（1）内安装阀座（2），阀座（2）内设有阀芯组件（4），其特征是，所述上阀体（8）内设有上阀体主通孔（81）和上阀体主通孔（81）下端的上阀体圆槽（83），所述上阀体主通孔（81）与上阀体圆槽（83）的中心轴线在一条直线且上阀体圆槽（83）的直径大于上阀体主通孔（81）的直径；所述下阀体（1）内设有下阀体主通孔（11）和下阀体主通孔（11）上端的下阀体圆槽（13），所述下阀体主通孔（11）与下阀体圆槽（13）的中心轴线在一条直线且下阀体圆槽（13）的直径大于下阀体主通孔（11）的直径；所述上阀体圆槽（83）与下阀体圆槽（13）的直径相同且上阀体圆槽（83）的底端与下阀体圆槽（13）的顶端对接；所述阀座包括阀座体、阀座体内部的阀座主通孔（22）、阀座主通孔（22）顶端的与阀座主通孔（22）连通的阀座上圆槽（23）、阀座主通孔（22）底端的与阀座主通孔（22）连通的阀座下圆槽（24），所述阀座上圆槽（23）、阀座主通孔（22）、阀座下圆槽（24）的中心轴线在一条直线，且阀座上圆槽（23）的直径大于阀座主通孔（22）的直径，阀座主通孔（22）的直径大于阀座下圆槽（24）的直径；阀座体包括上阀座体（25）和下阀座体（26），上阀座体（25）的外径大于下阀座体（26）的外径，上阀座体（25）的外径与下阀体圆槽（13）的直径一致，下阀座体（26）的外径与下阀体主通孔（11）直径一致； 所述下阀座体（26）装入下阀体主通孔（11）上部，而上阀座体（25）置于下阀体圆槽（13）与上阀体圆槽（83）内；所述阀芯组件从上至下依次包括阀芯顶板（41）、阀芯密封垫（42）、垫片（43），并设有锁紧螺钉（44）将阀芯顶板（41）、阀芯密封垫（42）和垫片（43）紧固；所述阀芯顶板（41）和阀芯密封垫（42）的直径均大于垫片（43）的直径，所述垫片（43）的直径与阀座下圆槽（24）直径一致，而阀芯顶板（41）与阀芯密封垫（42）的直径均小于阀座主通孔（22）的直径；所述阀芯顶板（41）的顶面设有阀芯顶板环形槽（45）；所述垫片（43）安装在阀座下圆槽（24）内，而阀芯密封垫（42）和阀芯顶板（41）均置于阀座主通孔（22）内；所述阀芯组件顶端安装压盖（6），压盖包括压盖圆盘（62）及压盖圆盘（62）顶端中心的压盖凸台（61），所述压盖圆盘（62）的直径与阀座主通孔（22）的直径一致；所述压盖圆盘（62）中均匀设有多个与压盖圆盘（62）上下两端导通的压盖通孔（63），而压盖圆盘（62）的底面设有压盖环形凹槽（65）；所述压盖圆盘（62）与阀芯密封垫（42）之间安装弹簧（5），弹簧（5）的顶端装在压盖环形凹槽（65）内，而弹簧（5）的底端装在阀芯顶板环形槽（45）；所述压盖圆盘（62）安装在阀座主通孔（22）上部，压盖凸台（61）伸入上阀体主通孔（81）内；阀座上圆槽（23）内卡装钢丝挡圈（7），钢丝挡圈（7）置于压盖圆盘（62）顶端。