[发明专利]研磨剂及使用该研磨剂的基板研磨方法有效
| 申请号： | 201410406599.9 | 申请日： | 2009-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN104178088A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 星阳介;龙崎大介;小山直之;野部茂 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02;B24B37/04;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;王未东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨剂及使用该研磨剂的基板研磨方法。所述研磨剂含有水、4价金属氢氧化物粒子及添加剂，所述添加剂含有选自阳离子性的聚合物和阳离子性的多糖类中的至少一种，所述阳离子性的聚合物和阳离子性的多糖类选自以下的(1)～(3)组成的组：(1)葡糖胺、半乳糖胺等以及它们的衍生物组成的组中的具有氨基糖的多糖类；(2)重均分子量100以上的乙抱亚胺聚合物或其衍生物；(3)含有选自由通式(Ⅰ)～(Ⅳ)组成的组中的至少一种单体成分的聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 使用 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨剂，其特征在于，含有水、4价金属氢氧化物粒子及添加剂，所述添加剂含有选自阳离子性的聚合物和阳离子性的多糖类中的至少一种，所述阳离子性的聚合物和阳离子性的多糖类选自以下的(1)～(3)组成的组：(1)葡糖胺、半乳糖胺、N‑乙酰基葡糖胺、硫酸葡糖胺、N‑氨基甲酰基葡糖胺、葡糖胺盐酸盐、葡糖胺醋酸盐、葡糖胺硫酸盐、N‑乙酰基半乳糖胺，选自甲壳质、脱乙酰度20％以上的壳聚糖、对于包含壳聚糖0.5％及醋酸0.5％的水溶液在20℃下使用B型粘度计测定的粘度为1～10000mPa·s的壳聚糖、软骨素、透明质酸、硫酸角质素、硫酸乙酰肝素、肝素、硫酸皮肤素以及它们的衍生物组成的组中的具有氨基糖的多糖类；(2)重均分子量100以上的乙抱亚胺聚合物或其衍生物；(3)含有选自由下述通式(Ⅰ)～(Ⅳ)组成的组中的至少一种单体成分的聚合物：通式(Ⅰ)～(Ⅳ)中，R1～R5分别独立地表示氢原子或1价的有机基团，X表示2价的有机基团。
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