[发明专利]一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液及其制备方法无效
| 申请号： | 201410408330.4 | 申请日： | 2014-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN104178172A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡建九;吴洪清;林志伟;陈凯轩;张永;王向武 | 申请（专利权）人： | 厦门乾照光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 李振瑞 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，由以下A、B、C、D、E五种组分组成：A组分为固体柠檬酸；B组分为双氧水；C组分为胺类化合物；D组分为氨基酸类化合物；E组分为去离子水；上述组分的加入量按质量计算为：A组分为5～150份，B组分为10～100份，C组分为1～20份，D组分为1～20份，E组分为100份；优选所述A组分纯度大于99.8%，所述B组分的质量浓度为30%；本发明还公开上述腐蚀液的制备方法；本发明能够较好控制腐蚀液的腐蚀速率，增强腐蚀的均匀性，彻底去除残留物，以获得侧面台阶平整的电池栅线结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 太阳电池 进行 选择性 腐蚀 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，由以下A、B、C、D、E五种组分组成：A组分为固体柠檬酸； B组分为双氧水； C组分为胺类化合物；D组分为氨基酸类化合物；E组分为去离子水； 上述组分的加入量按质量计算为：A组分为5～150份，B组分为10～100份，C组分为1～20份，D组分为1～20份，E组分为100份。
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