[发明专利]用于抛光蓝宝石表面的化学机械抛光组合物及其使用方法

摘要

提供一种对蓝宝石基材进行抛光的方法，该方法包括：提供具有暴露的蓝宝石表面的基材；提供化学机械抛光浆料，其中该化学机械抛光浆液包括以下成分作为初始组分：胶体二氧化硅磨料，其中该胶体二氧化硅磨料具有负表面电荷，且该胶体二氧化硅磨料具有多峰粒度分布，第一粒度最大为2-25nm；第二粒度最大为75-200nm；任选的杀生物剂；任选的非离子型消泡剂；和任选的pH调节剂。还提供一种用于抛光暴露的蓝宝石表面的化学机械抛光组合物。

主权项

一种抛光蓝宝石基材的方法，其包括：提供具有暴露的蓝宝石表面的基材；提供pH为大于8且不超过12的化学机械抛光浆液，其中该化学机械抛光浆液含有以下成分作为初始组分：胶体二氧化硅磨料，其中该胶体二氧化硅磨料具有负表面电荷，且该胶体二氧化硅磨料具有多峰粒度分布，第一粒度最大为2‑25nm；第二粒度最大为75‑200nm；任选的杀生物剂；任选的非离子型消泡剂；以及任选的pH调节剂；提供化学机械抛光垫；在化学机械抛光垫和基材的界面处形成动态接触；以及在所述化学机械抛光垫和基材之间的界面处或界面附近，将所述化学机械抛光浆液分配到所述化学机械抛光垫上；其中至少一些蓝宝石从基材暴露的蓝宝石表面上去除，且所述化学机械抛光浆液在以下条件下具有≥/小时的蓝宝石去除速率：台板转速120转/分钟，支架转速120转/分钟，化学机械抛光浆液的流速为400毫升/分钟，在300毫米的抛光设备上施加34.3kPa的标称向下作用力，所述化学机械抛光垫是聚氨酯浸渍的无纺抛光垫。