[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件

摘要

本发明涉及单晶硅生长炉领域，旨在提供一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件。该种用于单晶硅生长炉的挂接板组件包括连接体螺钉、挂接板和开关组件，开关组件包括开关组件A和开关组件B，开关组件A用于控制单晶硅生长炉的副炉室、炉盖能否进行运动，开关组件B用于控制副炉室是单独运动还是与炉盖同时运动，通过连接体螺钉和挂接板的配合，能实现单晶硅生长炉的副炉室与炉盖间的连接和脱离。本发明可以实现随时在中途方便安全取晶，不用随炉体慢慢冷却后才实现取晶动作，节省冷料时间和再次余料加热时间，降低了生产成本，提高了生产效率。

主权项

一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件，包括连接体螺钉、挂接板和开关组件，其特征在于，通过连接体螺钉和挂接板的配合，能实现单晶硅生长炉的副炉室与炉盖间的连接和脱离；挂接板为环形结构，安装在单晶硅生长炉的副炉室下法兰上，且挂接板能以副炉室下法兰为轴进行旋转，挂接板上设有至少两个弧形槽，弧形槽包括相互连接的大弧形和小弧形，大弧形的直径为d1，小弧形的直径为d2；所述连接体螺钉包括依次连接的顶面、上圆柱、中圆柱、下圆柱，并通过下圆柱安装在单晶硅生长炉的炉盖上法兰上，炉盖上法兰上设有至少两个连接体螺钉；所述顶面是用于导向的圆锥球面结构，圆锥球面结构是指圆锥的顶点处为球面的结构，上圆柱、中圆柱和下圆柱的外径依次为D1、D2、D3；单晶硅生长炉的副炉室下法兰上表面设有至少两个通孔，通孔分别与挂接板上对应的弧形槽连通，通孔的直径为d3；连接体螺钉、挂接板、通孔满足：D2、d2、D1、d1依次增大，且d3大于D1，d3大于D3，即连接体螺钉能穿过通孔进入弧形槽内，并通过旋转挂接板，连接体螺钉能在弧形槽的大弧形和小弧形内转换，使连接体螺钉在挂接板上完成挂接和脱离，实现炉盖与副炉室的连接和分离；副炉室下法兰上表面还设有两个深孔，用于实现挂接板在旋转到两个位置后的定位；开关组件包括开关组件A和开关组件B，开关组件A用于控制单晶硅生长炉的副炉室、炉盖能否进行运动，开关组件B用于控制副炉室是单独运动还是与炉盖同时运动；开关组件A包括弹簧销主体、压簧盖、手柄帽、弹簧销轴、弹簧和开关A，弹簧销主体安装在挂接板上，开关A也安装在挂接板上，压簧盖安装在弹簧销主体上，手柄帽安装在弹簧销轴上,弹簧销轴通过弹簧与弹簧销主体连接；通过旋转挂接板，在连接体螺钉与挂接板完成挂接和脱离的两个位置时，弹簧销轴在弹簧的张力作用下，能分别落入两个深孔中，弹簧销轴上端面下降触发开关A实现自锁功能；开关组件B包括开关B和撞块，开关B安装在挂接板上，撞块安装在副炉室下法兰的侧边，撞块设有一个斜面结构；通过旋转挂接板，弹簧销轴在两个深孔之间滑动时，开关B随挂接板一起旋转到撞块处，开关B的滑动组件沿撞块的斜面结构滑动，实现缓冲导向的作用。