[发明专利]测试设备与相关方法在审
| 申请号： | 201410411864.2 | 申请日： | 2010-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN104181449A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 迈克勒·瓦佐勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于测试太阳能电池或其他电子装置的测试设备，包括：用于进行测试的每个基板(150)的支撑套件(18)，其中该支撑套件(18)包括多个测试孔洞(23)，每个测试孔洞(23)适于允许插置该设备的相应的电气测试探针(42)，以使各探针(42)连接和/或接触该基板(150)的对应测试区；以及围绕每个测试孔洞(23)的多个吸引孔洞(24)。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 相关 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测试太阳能电池或其他电子装置的测试设备，包括：用于进行测试的每个基板(150)的支撑套件(18)，其中所述支撑套件(18)包括多个测试孔洞(23)，每个测试孔洞(23)适于允许插置所述设备的相应的电气测试探针(42)，以使各探针(42)连接和/或接触所述基板(150)的对应测试区；以及围绕每个测试孔洞(23)的多个吸引孔洞(24)。
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