[发明专利]一种透射式脉冲压缩光栅器件及其制备方法在审
申请号: | 201410414212.4 | 申请日: | 2014-08-21 |
公开(公告)号: | CN104155709A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 李朝明;陈新荣;吴建宏;潘君骅;胡祖元;李林;刘麟跃;常增虎 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 陶海锋 |
地址: | 215137 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种透射式脉冲压缩光栅器件及其制备方法,所述器件包括熔融石英基板,设置在所述熔融石英基板的一个光学表面上的透射式脉冲压缩光栅,其特征在于:在所述熔融石英基板的另一个相对的光学表面上设有高频增透光栅微结构。采用全息光刻结合离子刻蚀转移的方法实现器件的制备。本发明通过一个器件可以同时实现光束色散和增透,提高了透射式脉冲压缩光栅激光损伤阈值和光能利用率,在超强超快激光领域具有重要应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 透射 脉冲 压缩 光栅 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种透射式脉冲压缩光栅器件,包括熔融石英基板,设置在所述熔融石英基板的一个光学表面上的透射式脉冲压缩光栅微结构,光栅空频范围800‑2000line/mm,其特征在于:在所述熔融石英基板的另一个相对的光学表面上设有一维浮雕型高频增透光栅微结构,光栅空频范围2500‑6000line/mm。
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