[发明专利]使用激光定向自组装嵌段共聚物的方法有效
| 申请号： | 201410417661.4 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN105446074B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;刘畅 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;C08L53/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用激光定向自组装嵌段共聚物的方法，包括步骤：提供一表面沉积有嵌段共聚物层的衬底，其中，所述嵌段共聚物包括两种不同的嵌段分子；通过光罩将激光照射在所述嵌段共聚物的表面，形成光强分布，光强最强处为势能的最低点，所述嵌段共聚物中与激光频率产生共振的嵌段分子则被势能的最低点俘获，从而引导两种不同的嵌段分子进行周期性有序排列，形成定向的自组装图案。本发明提供的使用激光定向自组装嵌段共聚物的方法属于物理方法，利用激光照射对其中一种嵌段分子产生的极为强烈的束缚作用，从而使嵌段共聚物中两种嵌段分子定向有序的间隔排列，实现自组装图案的边缘线条清晰，无毛刺，无弯折，无缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 激光 定向 组装 共聚物 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使用激光定向自组装嵌段共聚物的方法，其特征在于，所述方法至少包括：提供一表面沉积有嵌段共聚物层的衬底，其中，所述嵌段共聚物包括两种不同的嵌段分子；通过光罩将激光照射在所述嵌段共聚物的表面，形成光强分布，光强最强处为势能的最低点，所述嵌段共聚物中与激光频率产生共振的嵌段分子则被势能的最低点俘获，从而引导两种不同的嵌段分子进行周期性有序排列，形成定向的自组装图案。
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