[发明专利]微机械结构元件和用于制造微机械结构元件的方法

摘要

本发明涉及微机械结构元件，具有一具有主延伸平面的衬底、沿第一平面扁平延伸的第一电极、沿第二平面扁平延伸的第二电极和沿第三平面扁平延伸的第三电极，第一、第二和第三平面平行于主延伸平面定向且沿与主延伸平面垂直的法线方向间隔地相叠布置，微机械结构元件具有能偏移的质量元件，其不仅能平行也能垂直于主延伸平面偏移，第二电极与质量元件抗相对运动地连接且在静止位置中沿与法线方向平行的投影方向具有与第一电极的第一重叠区域并且沿与投影方向平行的投影方向具有与第三电极的第二重叠区域，质量元件沿第三平面扁平延伸，质量元件具有沿第三平面扁平延伸且平行于法线方向完全穿过质量元件延伸的凹部，第三电极至少部分地布置在凹部中。

主权项

1.微机械结构元件(1)，具有一具有主延伸平面(100)的衬底(2)，一沿着第一平面(10')扁平地延伸的第一电极(11)，一沿着第二平面(20')扁平地延伸的第二电极(21)和一沿着第三平面(30')扁平地延伸的第三电极(31)，其中，所述第一、第二和第三平面(10'、20'、30')基本上平行于所述主延伸平面(100)定向并且沿着一与所述主延伸平面(100)基本上垂直的法线方向(103)间隔地相叠布置，其中，所述微机械结构元件(1)具有一能偏移的质量元件(40)，其中，所述质量元件(40)不仅能够基本上平行于也能够基本上垂直于所述主延伸平面(100)偏移，其中，所述第二电极(21)与所述质量元件(40)抗相对运动地连接，其中，所述第二电极(21)在所述质量元件(40)的静止位置中沿着一与所述法线方向(103)基本上平行的投影方向具有一与所述第一电极(11)的第一重叠区域(23)，并且沿着一与所述投影方向平行的另外的投影方向具有一与所述第三电极(31)的第二重叠区域(24)，其特征在于，所述质量元件(40)沿着所述第三平面(30')扁平地延伸，其中，所述质量元件(40)具有一沿着所述第三平面(30')扁平地延伸的并且平行于所述法线方向(103)完全穿过所述质量元件(40)延伸的凹部(41)，其中，所述第三电极(31)至少部分地布置在所述凹部(41)中。