[发明专利]光扫描装置以及光扫描单元有效
| 申请号： | 201410419597.3 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN104423035B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 丸山佑纪;阿部美里 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B5/08;G02B1/115;G02B1/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。本光扫描装置是使反射镜摆动而扫描入射的可见光的光扫描装置，上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、和层叠于上述金属膜上的增强反射膜。 | ||
| 搜索关键词： | 光扫描装置 反射镜 金属膜 光扫描单元 可见光 多层膜 反射率 反射膜 膜结构 入射角 摆动 基板 入射 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种光扫描装置，具有反射以所希望范围的波长而且以所希望范围的入射角度入射的激光的反射镜、和使上述反射镜向上下或左右摆动而在两轴上扫描上述激光的促动器，上述光扫描装置的特征在于，上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、层叠于上述金属膜上的增强反射膜、和层叠于上述增强反射膜上的保护膜，上述增强反射膜是由层叠于上述金属膜上的低折射率膜、和层叠于上述低折射率膜上的高折射率膜构成的层叠电介质膜，上述低折射率膜的光学膜厚是0.51×λ/4，上述高折射率膜的光学膜厚是0.82×λ/4，上述保护膜的光学膜厚是0.25×λ/4，上述激光相对于上述增强反射膜的入射角度在P偏光入射及S偏光入射的各情况下是0＜θ＜50°的范围，其中，λ是上述所希望范围的波长的中心波长，θ是上述激光从上述增强反射膜的最表面的法线方向入射的角度为0°的情况的入射角度。
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