[发明专利]一种大尺寸弯曲不敏感多模光纤预制棒的制造方法

摘要

本发明涉及一种大尺寸弯曲不敏感多模光纤预制棒的制造方法，首先使用纯石英玻璃衬管作为芯棒基底管，使用PCVD或MCVD工艺进行掺杂沉积，形成Ge/F共掺的芯层、Ge/F共掺或掺F的第一内包层、及纯二氧化硅第二内包层的沉积衬管；经沉积、熔缩制成实心芯棒；然后再使用纯石英玻璃衬管作为套管基底管，沉积掺氟的下陷包层；沉积后成为外层为纯二氧化硅玻璃层，内层为F掺杂玻璃层的掺杂套管；最后将实心芯棒套入掺杂套管，制成用于RIT工艺的光纤预制棒，或者将实心芯棒与掺杂套管组装后再次加温熔缩成实心的光纤预制棒。本发明不仅外径尺寸大，制作效率高，可用于制造弯曲附加损耗小，DMD性能优异的弯曲不敏感多模光纤；还具有工艺简单灵活，制造成本低的特点，适合大规模生产。

主权项

一种大尺寸弯曲不敏感多模光纤预制棒的制造方法，其特征在于首先使用纯石英玻璃衬管作为芯棒基底管，使用PCVD或MCVD工艺进行掺杂沉积，所述的纯石英玻璃衬管外径为28～47mm，单边壁厚为1～4mm；掺杂沉积过程，在反应气体四氯化硅和氧气中，通入含氟的气体，进行氟掺杂，通入四氯化锗，进行锗掺杂，通过微波使衬管内的反应气体离子化变成等离子体，并最终以玻璃的形式沉积在衬管内壁，根据所述光纤波导结构的掺杂要求，通过改变混合气体中掺杂气体的流量，依次沉积内包层和芯层，形成Ge/F共掺的芯层、Ge/F共掺或掺F的第一内包层、及纯二氧化硅第二内包层的沉积衬管；沉积完成后，用电加热炉将沉积衬管加温熔缩成实心芯棒；将实心芯棒进行腐蚀处理；然后再使用纯石英玻璃衬管作为套管基底管，使用PCVD或MCVD工艺进行掺杂沉积，所述的纯石英玻璃衬管外径为45～65mm，单边壁厚为7～14mm；掺杂沉积过程，在反应气体四氯化硅和氧气中，通入含氟的气体，引入氟掺杂，通过微波使衬管内的反应气体离子化变成等离子体，并最终以玻璃的形式沉积在衬管内壁，根据所述光纤波导结构的掺杂要求，通过改变混合气体中掺杂气体的流量，沉积掺氟的下陷包层；沉积后成为外层为纯二氧化硅玻璃层、内层为F掺杂玻璃层的掺杂套管；掺杂套管壁厚较原始衬管壁厚增加1～4mm；将掺杂套管进行清洗、腐蚀处理；最后将实心芯棒套入掺杂套管，制成用于RIT工艺的光纤预制棒，掺杂套管的孔径与实心芯棒外径的差值为0.5～4mm；或者将实心芯棒与掺杂套管组装后再次加温熔缩成实心的光纤预制棒。