[发明专利]一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置及其使用方法有效
申请号: | 201410421443.8 | 申请日: | 2014-08-26 |
公开(公告)号: | CN104155771A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 唐淳;余俊宏;郭林辉;吕文强;谭昊;吕华玲;高松信;武德勇 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
主分类号: | G02B27/62 | 分类号: | G02B27/62 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 卿诚;吴彦峰 |
地址: | 621000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置及其使用方法的技术方案,该方案该方法采用CCD作为光斑数据采集元件,基于光束分束原理,在微光学透镜装调过程中,同时在线监测近场和远场光斑数据,通过近场CCD光斑数据变化作为微光学透镜旋转轴的最佳空间位置判据,通过远场CCD光斑数据变化作为微光学透镜位移轴的最佳空间位置判据,可实现半导体激光器快慢轴光束发散角和指向性的精密控制。该发明具有系统集成度高、监测判据精密可靠等特点,基于该发明实现的低发散角、高指向性的半导体激光器可应用在泵浦固体激光器、医疗及工业加工等众多领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 微光 透镜 实现 精密 在线 监测 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置,其特征是:包括有半导体激光器、微光学透镜、六轴精密调节架、近场分光镜、近场柱面透镜、近场CCD、近场PC端、远场分光镜、远场柱面透镜、远场CCD、远场PC端和吸收池;所述半导体激光器发射出的激光束穿过固定在六轴精密调节架上的微光学透镜后射向近场分光镜;所述被近场分光镜反射后的激光束穿过近场柱面透镜后射向近场CCD;所述近场CCD能将收集到的数据传输到近场PC端;所述穿过近场分光镜的激光束射向远场分光镜;所述被远场分光镜反射后的激光束穿过远场柱面透镜后射向远场CCD;所述远场CCD能将收集到的数据传输到远场PC端;所述穿过远场分光镜的激光束射向吸收池。
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