[发明专利]一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置

摘要

本发明提供了一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，通过本装置可精确控制酸液中各酸的浓度和酸液的温度，确定蚀刻的时间，从而能精确控制蚀刻厚度，确保了石英棒表面的品质，确保光纤预制棒的质量稳定。其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内放置有待蚀刻石英棒，其特征在于：其还包括酸液储罐，所述酸液储罐的出液口连通所述蚀刻槽的酸液进口，所述蚀刻槽的高出设定液面高度的酸液回流进入酸液储罐，所述酸液储罐上布置有排液口、酸液进口，所述排液口外接有排液计量泵，加酸设备内分别盛装有独立布置的高浓度酸液容器，所述高浓度酸液容器分别通过独立管路、对应的高浓度酸液加酸计量泵后连通至对应的酸液进口；所述酸液储罐内布置有加热装置。

主权项

一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内放置有待蚀刻石英棒，其特征在于：其还包括酸液储罐，所述酸液储罐的出液口连通所述蚀刻槽的酸液进口，所述蚀刻槽的高出设定液面高度的酸液回流进入酸液储罐，所述酸液储罐上布置有排液口、酸液进口，所述排液口外接有排液计量泵，加酸设备内分别盛装有独立布置的高浓度酸液容器，所述高浓度酸液容器分别通过独立管路、对应的高浓度酸液加酸计量泵后连通至对应的酸液进口；所述酸液储罐内布置有加热装置，测温装置的测温部分位于所述酸液储罐的液面以下，所述加热装置、测温装置分别连接至总电器柜的温度控制模块，在线酸分析仪的取样部分位于酸液储罐的液面以下，在线酸分析仪外接至所述总电器柜，所述总电器柜的控制部分分别连接排液计量泵、各个高浓度酸液加酸计量泵。