[发明专利]MEMS器件有效
| 申请号： | 201410423786.8 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104418289B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | S.巴尔岑;A.德赫 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张涛,胡莉莉 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS器件，包括背板电极以及被部署为与所述背板电极间隔开的隔膜。所述隔膜包括可移位部分和固定部分。布置所述背板电极和所述隔膜，以使得所述隔膜的所述固定部分与所述背板电极的重叠区域小于最大重叠。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件，包括：背板电极；以及隔膜，与所述背板电极间隔开，其中，所述隔膜包括可移位部分和固定部分；其中，布置所述背板电极和所述隔膜，以使得所述隔膜的所述固定部分与所述背板电极的重叠区域小于最大重叠，其中，所述背板电极包括：分段，在有源背板部分与另一背板部分之间提供电隔离，所述有源背板部分面对所述隔膜的所述可移位部分，其中分段被布置为在支撑结构的附近延伸。
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