[发明专利]耐高温无线MEMS温度传感系统

摘要

本发明提出一种耐高温无线MEMS温度传感系统，包括无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将温度数据作为最终传感信号；声表面波谐振装置，用于接收来自所述无线问询单元的电磁波信号，并将电磁波信号转换为声表面波后，再次将声表面波转换为新的电磁波信号，以及将新的电磁波信号反馈给无线问询单元；显示装置，用于接收并显示来自无线问询单元的温度测量结果。本系统具有无源、无线、耐高温、体积小、能够实时测量的优点。

主权项

一种耐高温无线MEMS温度传感系统，其特征在于，包括：无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将所述温度数据作为最终传感信号，其中，所述无线问询单元包括：核心处理器、与所述核心处理器相连的直接数字频率合成器、与所述直接数字频率合成器相连的发射器、与所述发射器相连的双工器、与所述双工器相连的接收器、分别与所述接收器和所述核心处理器相连的探测器、用于发送和接收电磁波信号的天线；声表面波谐振装置，所述声表面波谐振装置用于接收来自所述无线问询单元的所述电磁波信号，并将所述电磁波信号转换为声表面波后，再次将所述声表面波转换为新的电磁波信号，以及将所述新的电磁波信号反馈给所述无线问询单元；显示装置，用于接收并显示来自所述无线问询单元的温度测量结果。