[发明专利]一种提供玻璃基板边缘曝光的多功能曝光机在审
| 申请号： | 201410429450.2 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105372941A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李会丽;林彬;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种提供玻璃基板边缘曝光的多功能曝光机，其特征在于：包括框架以及设置在所述框架上的曝光光源模块、掩膜台模块、镜筒及物镜模块、基板曝光载台模块、预对准台模块、机械手模块和边缘曝光模块；所述基板曝光载台模块和预对准台模块并排间隔放置；所述镜筒及物镜模块位于所述基板曝光载台上方；所述掩膜台模块位于所述镜筒及物镜模块的上方；所述曝光光源模块设置在所述掩膜台模块上方；所述边缘曝光模块位于所述预对准台模块的上方；所述边缘曝光模块包括边缘曝光光源、光学镜组及调整装置；在玻璃基板预对准的同时，边缘曝光模块对基板进行边缘曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提供 玻璃 边缘 曝光 多功能 | ||
【主权项】：
一种提供玻璃基板边缘曝光的多功能曝光机，其特征在于：包括框架以及设置在所述框架上的曝光光源模块、掩膜台模块、镜筒及物镜模块、基板曝光载台模块、预对准台模块、机械手模块和边缘曝光模块；所述基板曝光载台模块和预对准台模块并排间隔放置；所述镜筒及物镜模块位于所述基板曝光载台上方；所述掩膜台模块位于所述镜筒及物镜模块的上方；所述曝光光源模块设置在所述掩膜台模块上方；所述边缘曝光模块位于所述预对准台模块的上方；所述边缘曝光模块包括边缘曝光光源、光学镜组及调整装置；在玻璃基板预对准的同时，边缘曝光模块对基板进行边缘曝光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410429450.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：调色剂
- 下一篇：压印光刻法的矩形基材和制备方法
