[发明专利]插片机防破碎硅片缓冲装置在审

专利信息
申请号: 201410430732.4 申请日: 2014-08-27
公开(公告)号: CN104201238A 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 谈军;王庆锋;陈远峰;孙欣 申请(专利权)人: 国电兆晶光电科技江苏有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种插片机防破碎硅片缓冲装置,包括隔板、挂板、滑轨、花蓝限位板、缓冲件安装板和缓冲件,隔板水平间断地固定在两侧的挂板上,在相邻两块隔板5之间形成容纳花蓝空间,挂板与滑轨配合,花蓝限位板固定在两挂板的后侧面上,当花蓝插入后,花蓝限位板与花蓝的底部对应,在花蓝限位板与花蓝的底部对应面上设有缓冲件安装板,缓冲件安装板大小形状与花蓝的底部开口相对应,在缓冲件安装板的外露面上安装有缓冲件,缓冲件的外露面高于花篮的底部挡板内侧面的高度。由于使用该缓冲装置,提高脱胶硅片的合格率,全年可增效532.8万元,经济效益特别显著。同时在缓冲件损坏时,只需直接卸下更换缓冲件无需整体更换,节约了生产成本。
搜索关键词: 插片机防 破碎 硅片 缓冲 装置
【主权项】:
一种插片机防破碎硅片缓冲装置,其特征是:包括隔板(5)、挂板(6)、滑轨(7)、花蓝限位板(61)、缓冲件安装板(62)和缓冲件(63),隔板(5)水平间断地固定在两侧的挂板(6)上,在相邻两块隔板(5)之间形成容纳花蓝空间,挂板(6)与滑轨(7)配合,花蓝限位板(61)固定在两挂板(6)的后侧面上,当花蓝(4)插入后,花蓝限位板(61)与花蓝(4)的底部对应,在花蓝限位板(61)与花蓝(4)的底部对应面上设有缓冲件安装板(62),缓冲件安装板(62)大小形状与花蓝(4)的底部开口相对应,在缓冲件安装板(62)的外露面上安装有缓冲件(63),缓冲件(63)的外露面高于花篮(4)的底部挡板内侧面的高度。
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