[发明专利]一种金刚线切割的多晶硅的制绒方法在审
| 申请号： | 201410430817.2 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104328503A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李静;孙海平;夏正月 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚线切割的多晶硅的制绒方法，其特征在于，包括步骤：（a）采用混合酸溶液对硅片表面进行处理，使硅片表面形成多孔结构；（b）DI水清洗硅片表面；（c）制绒；（d）混酸溶液清洗：将硅片浸入氢氟酸溶液及盐酸溶液混合的混合酸溶液中进行清洗；（e）DI水清洗并烘干；本发明通过先用混合酸溶液对金刚线切割的硅片表面进行处理，使硅片表面形成多孔结构，从而增大硅片的反应活性；再用碱性混合溶液对硅片进行制绒处理，使硅片表面形成具有良好陷光效果的绒面，能有效降低金刚线切割多晶硅片制绒后的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种金刚线切割的多晶硅的制绒方法，其特征在于：包括以下步骤：（a）采用混合酸溶液对硅片表面进行处理，使硅片表面形成多孔结构；（b）DI水清洗硅片表面：采用DI水对硅片表面进行清洗；（c）制绒：将硅片浸入氢氧化钠、无水乙醇或异丙醇组成的碱性混合溶液中进行制绒；（d）混酸溶液清洗：将硅片浸入氢氟酸溶液及盐酸溶液混合的混合酸溶液中进行清洗；（e）DI水清洗并烘干：用DI水清洗硅片表面后烘干。
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