[发明专利]一种薄膜材料的原位热分析-质谱测量方法有效
| 申请号： | 201410432112.4 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105445308B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 于惠梅;董洪亮;潘秀红;张明辉;张恒;梁继娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N25/00 | 分类号： | G01N25/00;G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜材料的原位热分析‑质谱测量方法，所述方法包括：1）将薄膜材料前驱体涂覆于平板型试样坩埚上，并将所述平板型试样坩埚作为热分析‑质谱仪的进样装置；2）对涂覆于平板型试样坩埚上的薄膜材料前驱体进行热分析‑质谱实验测量，获得薄膜材料前驱体的热分析曲线，其中通过热分析数据可得到薄膜材料前驱体中有机物的排除温度；3）所得薄膜材料前驱体进行热分析‑质谱测量，同时获得薄膜材料在空气气氛下的质谱曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 原位 分析 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜材料的原位热分析‑质谱测量方法，其特征在于，所述方法包括：1）将薄膜材料前驱体涂覆于平板型试样坩埚上，并将所述平板型试样坩埚作为热分析‑质谱仪的进样装置，所述平板型试样坩埚的材质为氧化铝、氧化锆、金属Mo、金属Nb、金属Au、金属Pt中的一种；2）对涂覆于平板型试样坩埚上的薄膜材料前驱体进行热分析‑质谱实验测量，获得薄膜材料前驱体的热分析曲线同时实现薄膜前驱体预处理和成膜在同一次实验中不间断地原位完成，其中通过热分析数据可得到薄膜材料前驱体中有机物的排除温度；3）所得薄膜材料前驱体进行热分析‑质谱测量，同时获得薄膜材料在空气气氛下的质谱曲线；所述方法还包括结合质谱测量结果测定薄膜前驱体和/或薄膜材料的微观组分变化。
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