[发明专利]一种湿法腐蚀装置及其使用方法

摘要

本发明提供一种湿法腐蚀装置，所述湿法腐蚀装置包括基座、衬垫和真空发生装置，所述基座内设有与所述真空发生装置相连通的气流通道，所述衬底内设有凹槽，凹槽底部设有与所述气流通道相连通且一一对应的通孔，所述凹槽底部的边缘设有与晶圆边缘弧形区域相吻合的弧形坡面。所述湿法腐蚀装置可以实现对整个所述晶圆背面的腐蚀；可以使得整个所述晶圆的正面与所述衬垫紧密贴合，防止腐蚀液渗入至所述晶圆的正面，有效地保护所述晶圆的正面不与所述腐蚀液相接触；结构简单，操作方便，且制造成本低廉，可以重复使用，大大降低了生产成本。

主权项

一种湿法腐蚀装置，适于对晶圆进行单面腐蚀，所述晶圆具有待腐蚀的背面和需要保护的正面，其特征在于，所述湿法腐蚀装置包括：基座、衬垫和真空发生装置；所述基座内沿轴向设有第一气流通道，所述第一气流通道连通所述基座的上表面；所述第一气流通道与所述真空发生装置相连接；所述衬垫位于所述基座的上表面，所述衬垫内设有凹槽，所述凹槽底部的直径大于或等于所述晶圆的直径；所述凹槽底部设有通孔区域，所述通孔区域的直径小于所述晶圆的直径；所述通孔区域内设有与所述第一气流通道相连通的通孔，所述通孔与所述第一气流通道上下对应；所述晶圆正面的边缘区域为弧形区域，所述凹槽底部的直径等于所述晶圆的直径，且所述凹槽底部的边缘区域为弧形坡面，所述弧形坡面与所述弧形区域相吻合，以使得所述晶圆位于所述凹槽底部时，所述晶圆的边缘与所述凹槽底部的边缘完全贴合在一起。