[发明专利]一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架在审

专利信息
申请号: 201410435107.9 申请日: 2014-08-30
公开(公告)号: CN105463397A 公开(公告)日: 2016-04-06
发明(设计)人: 闫少健;韩滨;田灿鑫;付德君 申请(专利权)人: 宜昌后皇真空科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 姜荣华
地址: 443500 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架包括活塞环架和底盘,活塞环架活动设在底盘上;活塞环架包括定位杆、支撑杆,定位杆与支撑杆之间通过调节杆连接;底盘上沿直径方向上设有长条形通孔,支撑杆下端的固定杆穿过通孔。本发明适用于不同规格的活塞环装架进行镀膜处理,也可将活塞环架整体取下用于其它活塞环处理作业;简便易行,提高生产效率,降低成本。
搜索关键词: 一种 可拆卸 活塞环 pvd 镀膜
【主权项】:
 一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述镀膜架包括活塞环架和底盘(4),活塞环架活动设在底盘(4)上;所述活塞环架包括定位杆(1)、支撑杆(2),定位杆(1)与支撑杆(2)之间通过调节杆(3)连接;所述底盘上沿直径方向上设有长条形通孔(6),支撑杆(2)下端的固定杆(7)穿过通孔(6)。
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