[发明专利]热交换晶体生长系统、冷却气体流量控制方法及装置

摘要

本发明提供了一种冷却气体流量控制方法，所述的冷却气体流量控制方法用于热交换晶体生长系统的冷却气体流量控制，所述的方法包括以下步骤：11)获取冷却气体热交换后的温度以及冷却气体当前流量；12)根据冷却气体热交换后的温度和预设传热速率计算冷却气体目标流量；13)调节冷却气体当前流量趋向于冷却气体目标流量。本发明还提供了一种冷却气体流量控制装置，以及具有该装置的热交换晶体生长系统。上述方案能够解决目前通过冷却气体流量‑时间关系曲线控制冷却气体流量来实现晶体生长所存在适应性和晶体一致性较差的问题。

主权项

1.冷却气体流量控制方法，用于热交换晶体生长系统的冷却气体流量控制，其特征在于，包括以下步骤：11)获取冷却气体热交换后的温度以及冷却气体当前流量；12)根据所述冷却气体热交换后的温度和预设传热速率计算冷却气体目标流量，所述冷却气体目标流量Fn＝22.4× q/{C× m× (Tn‑T0)}，其中，q是预设传热速率，C是冷却气体的比热容，Tn是冷却气体热交换后的温度，T0是冷却气体热交换前的温度，m是冷却气体的摩尔质量；13)调节所述冷却气体当前流量趋向于所述冷却气体目标流量；步骤12)和步骤13)之间还包括：21)计算所述冷却气体当前流量与所述冷却气体目标流量的差值；22)根据所述差值确定与所述差值相对应的流量调节幅度，所述流量调节幅度与所述差值的绝对值成正比；步骤21)和步骤22)之间还包括：33)判断所述差值是否大于设定值，若是，则进入步骤22)，否则，结束操作。