[发明专利]铬靶材及其组合的制造方法

摘要

一种铬靶材及其组合的制造方法，其中铬靶材的制造方法包括：提供铬粉末；将所述铬粉末进行预压成型处理以形成成型坯料；对所述成型坯料进行真空热压烧结形成靶材坯料；对所述靶材坯料进行机械加工形成铬靶材。本发明在对铬粉末进行预压成型处理后，直接对成型坯料进行真空热压烧结，而无需热等静压处理过程。这样缩短了铬靶材制造时间，且无需用到热等静压设备，显著降低了铬靶材生产成本。

主权项

一种铬靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供铬粉末；将所述铬粉末进行预压成型处理以形成成型坯料；在预压处理后，将成型坯料转移到石墨模具内；对所述成型坯料进行真空热压烧结形成靶材坯料，所述真空热压烧结的过程包括：将装有成型坯料的石墨模具放入真空感应烧结炉中，将真空感应烧结炉的上下压头位置固定，成型坯料被上压头和下压头所限位，成型坯料的体积不变；将石墨模具放入真空感应烧结炉中后，进行第一次升温过程、第二次升温过程以及第二次升温后的保温，在第二次升温过程后的保温中，成型坯料呈固液共存状态；在第二次升温和保温后，以1t/min～2t/min的加压速率对成型坯料进行加压至20MPa/cm²～30MPa/cm²，保温保压1h～3h，所述加压使液态铬游离并填充于固态铬之间的空隙中，减小铬原子之间的间隙，并排出成型坯料中铬颗粒之间空隙的空气；对所述靶材坯料进行机械加工形成铬靶材。