[发明专利]螺旋涂敷装置

摘要

本发明根据实施形态，提供具备载物台、喷嘴、移动单元、气体供给部、洗净液供给部和喷嘴洗净部的螺旋涂敷装置。载物台具有载置涂敷对象物的载置面。喷嘴往载置在载物台上的涂敷对象物吐出液体。移动单元使喷嘴相对于载物台相对地移动。气体供给部提供气体。洗净液供给部提供洗净液。喷嘴洗净部具有气体供给口和洗净液供给口，从气体供给口向喷嘴喷射从气体供给部提供来的气体，从洗净液供给口向喷嘴吐出从洗净液供给部提供来的洗净液。

主权项

一种螺旋涂敷装置，具备：载物台，具有载置涂敷对象物的载置面；喷嘴，往载置在上述载物台上的上述涂敷对象物吐出液体；移动单元，使上述喷嘴相对于上述载物台相对地移动，该移动单元具有使上述喷嘴沿与上述载物台的旋转轴平行的方向移动的第1移动机构部、以及使上述喷嘴沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面移动的第2移动机构部；气体供给部，提供气体；洗净液供给部，提供洗净液；以及喷嘴洗净部，具有气体供给口和洗净液供给口，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供来的上述洗净液。