[发明专利]气室的制造方法及气室、磁测定装置的制造方法及磁测定装置有效
申请号: | 201410439248.8 | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN104188626B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 长坂公夫;菊原和通 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | A61B5/00 | 分类号: | A61B5/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 刘影娜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种气室的制造方法及气室,其提高了气室的特性的均一性。气室的制造方法具有以形成由形成有所述涂层的面围成的气室单元的方式,组装形成有所述涂层的多个所述板材的组装工序;向形成的所述气室单元内填充碱金属气体的填充工序。 | ||
搜索关键词: | 制造 方法 测定 装置 | ||
【主权项】:
一种气室的制造方法,所述气室具备主室、狭窄孔和安瓿容纳室,所述气室的制造方法的特征在于,依次具有:将封装件和盖罩接合而形成所述主室的接合工序;在所述主室的内壁形成涂层的涂敷工序;向所述主室内填充碱金属气体的填充工序。
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