[发明专利]腔体气流方向可变结构

摘要

腔体气流方向可变结构，主要解决现有技术中抽气组件只能提供负压和控制流量，不能实现控制气体流向的技术问题。它包括腔体，腔体的侧面设有气室。上述腔体内的承载面A及承载面B沿腔体轴向上下布置，承载面A上放置大径陶瓷环，小径陶瓷环放置于腔体内的承载面B上。上述气室设有抽气芯，抽气芯由外部提供位移动力，可沿承载面A及承载面B布置方向移动。波纹管的下端与真空泵连接，形成整个系统的真空环境。当抽气芯移动并与抽气口A和排气孔B组合或与抽气口B和排气孔A组合时，由于其排气孔A和排气孔B的孔径大小有差别，进而实现气流的大小、速度、流向的变化。具有结构简单，可靠性高、维护性好、通用性强的特点，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

主权项

腔体气流方向可变结构，包括腔体(1)，腔体(1)的侧面设有气室，其特征在于：上述腔体(1)内的承载面A(11)及承载面B(12)沿腔体轴向上下布置，承载面A(11)上放置大径陶瓷环(2)，小径陶瓷环(3)放置于腔体(1)内的承载面B(12)上，上述气室设有抽气芯(4)。