[发明专利]一种双段式静电驱动微机械开关有效
| 申请号： | 201410441394.4 | 申请日： | 2014-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN104241035A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 尤政;高永丰;赵嘉昊;阮勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于微机械开关器件领域的一种双段式静电驱动微机械开关。所述静电驱动微机械开关由两组驱动梳齿和两组弹性结构组成，第一组驱动梳齿通过第一组弹性结构固定到锚区上，第二组驱动梳齿通过第二组弹性结构与第一组驱动梳齿相连；第一组驱动梳齿的动电极设有限位块，使其行程小于触点间隙。本发明具有两组不同的驱动梳齿，其驱动合力可以兼具不同驱动梳齿的驱动力的优点，对于两组弹性结构的弹性系数设计，可以使得系统的弹性系数在不同的驱动阶段可变，使得系统刚度可以同时兼顾到机械稳定性和驱动性能，同时实现较好的驱动性能与较高的结构稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 静电 驱动 微机 开关 | ||
【主权项】：
一种双段式静电驱动微机械开关，其特征在于，所述静电驱动微机械开关由两组驱动梳齿和两组弹性结构组成，第一组驱动梳齿通过第一组弹性结构固定到锚区上，第二组驱动梳齿通过第二组弹性结构与第一组驱动梳齿相连；第一组驱动梳齿的动电极设有限位块，使其行程小于触点间隙。
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