[发明专利]一种测定离焦量的方法及系统

摘要

本发明公开了一种测定离焦量的方法及系统，用于扫描振镜系统中离焦量的测量，包括如下步骤确定激光λ1的焦平面；测量结构光λ3与水平面之间形成一倾角α及焦距的值；测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ；根据公式计算得出离焦量。本发明克服了常规测量工具由于读数引入的误差，并能实现非接触的距离测量，避免了常规测量对工件的损伤，并能实现狭小空间内的测距，提高了加工效率。

主权项

一种测定离焦量的方法，用于激光加工中离焦量的测量，其特征在于，包括如下步骤：1)在工作平台上放置标准件，调整激光λ1垂直出射的高度，使激光λ1的焦平面位于标准件的工作面；2)打开指示灯，指示灯的指示光λ2与激光λ1共光路；3)引入第二光源，第二光源位于指示灯一侧，第二光源出射的结构光λ3与水平面之间形成一倾角α；4)调整倾角α，使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在激光λ1的焦平面上重合后，测量倾角α以及焦距的值；5)将标准件更换为待加工件，当待加工件的工作面未处于激光λ1的焦平面时，调整指示光λ2的出射角度，使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在待加工件工作面上重合，测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ；6)通过公式计算离焦量的值：|AC|=|AB|·cosα·cosθcos(α+θ)]]>|BC|＝abs(|AC|‑|AB|)其中|BC|为离焦量，|AC|为待加工件的工作面与输出透镜的距离，|AB|为焦距，α为结构光λ3的倾角，θ为指示光λ2偏离垂直面的角度。