[发明专利]一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具及其使用方法

摘要

本发明涉及一种应用于真空镀膜领域的伞形镀膜治具，尤指一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具及其使用方法，整体式治具主要包括伞形治具盘本体、连接座和锁条，伞形治具盘为一体铸压成型，直径为1950mm～2050mm，厚度为5mm，通过中轴孔在伞形治具盘顶部安装有连接块；连接座整体开设有U形卡槽，U形卡槽的口径与圆形侧板的直径相匹配，圆形侧板的边缘能从U形卡槽的口径处往U形卡槽内滑动使得伞形治具盘安装在连接座上并通过锁条锁紧，本发明适用于生产大规模大尺寸的量产产品，使得伞形治具盘面积使用的最大化；同时伞形治具盘与连接座的连接固定方式以及连接座与镀膜腔室的安装方式均为便捷的可拆卸式连接，安装维护成本低。

主权项

一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具，其特征在于：所述的整体式治具主要包括伞形治具盘本体、连接座和锁条，所述的伞形治具盘为一体铸压成型，直径为1950mm～2050mm，厚度为5mm，在伞形治具盘的表面开设有多个通孔，且在伞具中轴处开设有中轴孔，通过中轴孔在伞形治具盘顶部安装有连接块，所述的连接块为两侧圆形侧板之间通过一个筒状轴体连接的类似线缆盘状，两侧圆形侧板的直径相同且比筒状轴体的外径大使得筒状轴体的外表面与两侧圆形侧板之间形成槽状，其中一侧的圆形侧板通过中轴孔安装在伞形顶部使得筒状轴体的通孔与中轴孔贯通，另外一侧圆形侧板与连接座连接；所述的连接座整体呈规则方块状且在中间开设有中孔，连接座中孔外围开设有螺孔；中孔的直径与筒状轴体的通孔的直径相同，在方块状的一侧面往里开设有U形卡槽，其余三个侧面均设计有带有销孔的连接端头；U形卡槽的口径与圆形侧板的直径相匹配，圆形侧板的边缘能从U形卡槽的口径处往U形卡槽内滑动使得伞形治具盘安装在连接座上并通过锁条锁紧；连接座U形卡槽的两个开口端设置为夹持端口，夹持端口上开设有螺孔；安装在连接座上的伞形治具盘的中轴孔与筒状轴体的通孔及连接座上的中孔贯通；所述的锁条为条状开设有与U形卡槽夹持端的螺孔位置相配合的两个螺孔；锁条长度大于U形卡槽的开口直径，伞形治具盘安装在连接座的U形卡槽内后，将锁条安装在U形卡槽的开口端的夹持端口处，通过螺钉贯穿夹持端口及锁条的螺孔锁紧伞形治具盘使其不再滑出。