[发明专利]流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法及制得的AlN生瓷片有效
| 申请号： | 201410446360.4 | 申请日： | 2014-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN104193340A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 郭军;张浩;崔嵩;党军杰;汤文明;詹俊;耿春磊;史常东 | 申请（专利权）人： | 合肥圣达电子科技实业公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/622 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，包括AlN多层用生瓷片、浆料制作方法和流延工艺，是将AlN粉体、烧结助剂、分散剂、粘结剂、增塑剂和溶剂搅拌混合均匀，形成浆料，再通过流延的方法制得生瓷片，生瓷片厚度控制在0.300mm以下,所制作的生瓷片能满足多层布线基板制作要求。 | ||
| 搜索关键词： | 成型 法制 备用 多层 布线 aln 瓷片 方法 | ||
【主权项】：
一种流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，其特征在于：将AlN粉体、烧结助剂、分散剂、粘结剂、增塑剂和溶剂搅拌混合均匀，形成浆料，再通过流延的方法制得生瓷片，生瓷片厚度控制在0.300mm以下，具体制作步骤如下：1）将烧结助剂、分散剂和流延添加溶剂混合进行第一次球磨；2）将AlN粉体加入第一次球磨体系中，再进行第二次球磨；3）在上述球磨后混合体系中加入粘结剂和增塑剂，进行第三次球磨；4）待第三次球磨结束后，将浆料转移到真空脱泡系中统进行脱泡；5）将脱泡后浆料进行流延，得到流延膜；6）将流延膜在干燥制度下进行干燥，得到流延生瓷片；7）通过分切检验，得到所需尺寸的生瓷片。
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