[发明专利]用于半导体器件的动态对准的方法和设备

摘要

本发明涉及用于半导体器件的动态对准的方法和设备。当该槽穴在接收的位置中时，通过在槽穴的第一和第二部件之间将半导体器件放置入槽穴来对准半导体器件，在接收的位置中所述第一和第二部件比当该槽穴在对准的位置中时进一步彼此间隔开。在半导体器件在槽穴中的情形下，将该槽穴从接收的位置移动到对准的位置以便第一和第二部件彼此间隔更接近并且在该槽穴中对准半导体器件。在对准半导体器件之后将该半导体器件从槽穴中移除。

主权项

一种设备，包括：槽穴，包括第一部件和第二部件，所述槽穴被配置成：在接收的位置中接收半导体器件，第一和第二部件在接收的位置中以第一距离彼此间隔开；并且在对准的位置中对准半导体器件，第一和第二部件在对准的位置中以小于第一距离的第二距离彼此间隔开；以及致动器，被配置成将槽穴从接收的位置移动到对准的位置，其中所述致动器与第一部件和第二部件分离。