[发明专利]光调制器以及曝光头

摘要

本发明提供一种能够确保利用光电晶体基板的光调制中的消光比的技术。设置有分别具有第一周期极化反转结构和第二周期极化反转结构的第一光电晶体基板及第二光电晶体基板。光通过第一周期极化反转结构之后在通过第二周期极化反转结构。第一周期极化反转结构是通过以第一周期沿与行进方向垂直或倾斜的第一排列方向排列受到电场的作用而产生的极化方向彼此相反的第一极化对而成的。第二周期极化反转结构是通过以第二周期沿与行进方向垂直的或倾斜的第二排列方向排列受到电场的作用而产生的极化方向彼此相反的第二极化对而成的。至少满足第一周期和第二周期彼此不同这样的第一条件和第一排列方向和第二排列方向彼此不同这样的第二条件中的一个条件。

主权项

1.一种光调制器，用于调制使来自排列多个点发光光源而成的光源的出射光由透镜形成光束并作为平行光向行进方向行进的光，其特征在于，具有：第一光电晶体基板，其具有第一周期极化反转结构，所述光从所述第一周期极化反转结构通过，所述第一周期极化反转结构是通过以第一周期沿与所述行进方向垂直的第一排列方向排列因受到电场的作用而产生极化的方向彼此相反的第一极化对而成的，第二光电晶体基板，其具有第二周期极化反转结构，通过了所述第一光电晶体基板的所述光从所述第二周期极化反转结构通过，所述第二周期极化反转结构是通过以第二周期沿与所述行进方向垂直的第二排列方向排列因受到电场的作用而产生极化的方向彼此相反的第二极化对而成的，第三光电晶体基板，其具有第三周期极化反转结构，通过了所述第二光电晶体基板的所述光从所述第三周期极化反转结构通过，所述第三周期极化反转结构是通过以第三周期沿与所述行进方向垂直的第三排列方向排列因受到电场的作用而产生极化的方向彼此相反的第三极化对而成的，驱动部，其利用施加于所述第一光电晶体基板、所述第二光电晶体基板及所述第三光电晶体基板的电压，来在所述第一周期极化反转结构内、所述第二周期极化反转结构内及第三周期极化反转结构内形成衍射光栅，由此对所述光进行调制；在所述第一周期极化反转结构形成的衍射光栅对来自所述光源的出射光进行衍射，在所述第二周期极化反转结构形成的衍射光栅对通过了所述第一周期极化反转结构的光进行衍射，在所述第三周期极化反转结构形成的衍射光栅对通过了所述第二周期极化反转结构的光进行衍射，所述第一周期和所述第三周期相同，所述第二周期是所述第一周期的两倍。