[发明专利]平面运动测量装置及其方法

摘要

本发明提供了一种平面运动测量装置及其方法，包括：平面运动定子、平面运动动子、以及位于所述平面运动定子与所述平面运动动子之间的至少三个测量模块，所述三个测量模块中二个测第一方向，另一个测第二方向，所述第一方向和所述第二方向垂直,可以达到测量Rz转角偏大的平面运动的目的，实现了X、Y、Rz平面运动的高精度测量，提高了测量的准确性；同时，测量模块中采用鼓形轴承，无机械回差，不会将非测量轴的误差带入测量轴，可以适应平面运动动子在Rx、Ry、Z方向的微量变化。

主权项

1.一种平面运动测量装置，其特征在于，包括：平面运动定子、平面运动动子、转接件、以及位于所述平面运动定子与所述平面运动动子之间的至少三个测量模块，所述三个测量模块 中二个测第一方向，另一个测第二方向，所述第一方向和所述第二方向垂直；其中，每个所述测量模块还包括十字机械导轨，与所述平面运动定子以及所述平面运动动子相连接，用于支持所述平面运动动子的运动；所述十字机械导轨包括X向导轨与Y向导轨，实现所述平面运动动子在X轴向与Y轴向的运动；所述Y向导轨上设置有鼓形轴承，所述鼓形轴承用于连接所述平面运动动子和所述Y向导轨；所述转接件固定连接在所述运动动子上，所述鼓形轴承的一端与所述转接件连接，所述转接件设有与所述鼓形轴承的一端配合的孔，以使所述鼓形轴承在所述孔中沿Z轴的方向运动。