[发明专利]一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法有效
| 申请号： | 201410458660.4 | 申请日： | 2014-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104261694B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李金华;谢建生 | 申请（专利权）人： | 李金华 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23;C03C17/34 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法。步骤如下(1)在玻璃常规清洗后，在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5～20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层；(2)采用直流反应磁控溅射方法，在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜；反应溅射靶材用纯度为99.96％的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成；反应溅射源气为Ar/O2混合气体，Ar/O2的流量比例为5％～10％；(3)沉积氧化钒薄膜后，采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理；整个热处理过程温度在450～550℃，时间为10～20分钟；退火气氛采用N2/O2混合气体，N2和O2都为液氮和液氧气化，其中N2气与O2的流量比例为98％～99％2％～1％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 透过 自动 调节 智能 玻璃 产业化 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种红外透过率自动调节智能玻璃的产业化制备方法，其特征在于，其步骤如下：(1)玻璃表面的结晶诱导层制备在玻璃常规清洗后，在玻璃表面用离子束溅射方法溅射沉积5～20nm厚的Ti或Si单质元素薄膜，作为结晶诱导层；(2)直流反应磁控溅射氧化钒薄膜采用直流反应磁控溅射方法，在结晶诱导层上反应溅射沉积氧化钒薄膜；溅射时样品被加200V的负偏压，样品的加热温度为150℃；反应溅射靶材用纯度为99.96％的高纯钒与不同原子比的掺杂元素融合制成；反应溅射源气为Ar/O2混合气体，Ar/O2的流量比例为5％～10％；(3)溅射薄膜的结晶热处理沉积氧化钒薄膜后，采用卤素灯光加热的快速热处理技术对其进行热处理；整个热处理过程温度在450～550℃，时间为10～20分钟；退火气氛采用N2/O2混合气体，N2和O2都为液氮和液氧气化，其中N2与O2的流量比例为98％～99％：2％～1％。
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