[发明专利]衬底处理装置以及衬底的生产方法

摘要

本发明涉及衬底处理装置以及衬底的生产方法，解决了如下问题：衬底载置部外周的热由构成气体分散通道的壁吸收，结果，难以使衬底面内的温度均匀。具有：腔室盖部，具有第一加热机构；衬底载置部，靠近该腔室盖部，并具有用于加热衬底的第二加热机构；处理容器，至少由所述腔室盖部和所述衬底载置部构成；控制部，在所述第二加热机构加热所述衬底载置部时，控制所述第一加热机构从而抑制来自所述第二加热机构的热能从所述衬底载置部向所述腔室盖部热传递。

主权项

1.一种衬底处理装置，具有：腔室盖组件，具有第一加热机构和气体分散通道，所述气体分散通道构成为越接近衬底载置部直径越大，并且在气体分散通道的下部内，所述气体分散通道的一部分以远离中心轴的方式形成为锥形，所述第一加热机构至少设置在腔室盖组件的底壁部并且设置成与衬底的外周相对；衬底载置部，靠近该腔室盖组件地配置，并具有用于加热衬底的第二加热机构；处理容器，至少由所述腔室盖组件和所述衬底载置部构成；控制器，控制所述第一加热机构，以抑制来自所述第二加热机构的热能从所述衬底载置部向所述腔室盖组件热传递。