[发明专利]具有超高真空度的样品调整控制器

摘要

一种具有超高真空度的样品调整控制器，包括控制部、关节部、样品部及传动部，其中控制部的一端连接关节部的一端，关节部的另一端连接样品部，而传动部分别连接控制部、关节部和样品部，关节部是由至少一个波纹管构成，操作者能透过操控控制部的控制把手带动传动部的传动杆，使关节部被传动杆带动，进一步改变样品部的位置；本发明的样品调整装器是适合用于任何程度真空的环境。

主权项

一种具有超高真空度的样品调整控制器，测量装置包含该样品调整控制器(1)、一X‑Y‑Z线性移动载台(22)及一真空腔(24)，所述样品调整控制器(1)是装置在所述X‑Y‑Z线性移动载台(22)中，并使所述样品调整控制器(1)配置于所述真空腔(24)之中，其特征在于，所述样品调整控制器(1)包含如下部件：一控制部(12)，其上配置有多个控制把手(121/123/125)；一中心杆(16)，其一端和所述控制部(12)连接；一水平关节部(17)，其具有一垂直转动轴(172)，所述垂直转动轴(172)的一端配置一转轴(173)，藉由所述转轴(173)和所述中心杆(16)的另一端连接，且所述垂直转动轴(172)套设有一中轴齿轮(171)；一垂直关节部(14)，其一端和所述垂直转动轴(172)的另一端固定连接，所述垂直关节部(14)是由一第一波纹管(141)及一第二波纹管(142)串接而成，所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)连接处和一传动齿轮(157)相接；一样品部(13)，位于所述样品调整控制器(1)的底端，具有一样品座(131)及一样品载台(132)，所述样品座(131)和所述垂直关节部(14)的另一端连接，所述样品载台(132)位于所述样品座(131)的外侧表面，并有一前伞齿轮杆(135)贯穿于所述样品座(131)外侧表面，并和所述样品载台(132)相接；及一传动部(15)，具有一第一传动杆(150)及一第二传动杆(155)，所述第一传动杆(150)及所述第二传动杆(155)皆有一端和所述控制把手(121/123/125)的其中之一相接，所述第一传动杆(150)套设有一齿轮(152)，且所述第一传动杆(150)的另一端配置有一伞齿轮(151)，而所述第二传动杆(155)的另一端套设有一蜗杆(156)，所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)相接，所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)的多个齿轮牙(1571)相接合；其中，所述第二传动杆(155)的转动能带动所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)的形变，进一步带动所述样品部(13)转动。