[发明专利]一种蓝宝石激光挖槽装置及其挖槽方法有效

专利信息
申请号: 201410460620.3 申请日: 2014-09-11
公开(公告)号: CN105458515B 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 王焱华;杨国会;李成;唐建刚;高昆;尹建刚;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;B23K26/364;B23K26/082;B23K26/046
代理公司: 深圳市世联合知识产权代理有限公司44385 代理人: 汪琳琳
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及激光加工技术领域,公开了一种蓝宝石激光挖槽装置及其挖槽方法,该挖槽装置包括激光器、反射镜、扩束镜、振镜、聚焦镜、平台和计算机,将待加工蓝宝石样品设置于平台上,反射镜、扩束镜、振镜和聚焦镜由上至下依次设置在待加工蓝宝石样品的上方,反射镜、扩束镜、振镜、聚焦镜和待加工蓝宝石样品的中心位于同一直线上,激光器位于反射镜的一侧,计算机与振镜相连;本发明采用连续曲线的方式,与传统的填充式扫描相比,加工出来的激光挖槽加工效果好、崩边量小且断面光滑,此外根据每层的扫描轨迹生成螺旋线进行扫描,这样的扫描轨迹可以解决常规激光扫描激光连接处加工不良的现象,还可以避免填充式扫描带来的跳转问题,提高加工精度。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 激光 装置 及其 方法
【主权项】:
一种蓝宝石激光挖槽方法,其特征在于:该蓝宝石激光挖槽方法步骤如下:步骤S1:根据待加工蓝宝石样品(6)上挖槽的形状和大小,通过建型模块建立挖槽的模型;步骤S2:通过计算模块计算加工挖槽所需要的层数n,其中D为挖槽的总深度,d为每层加工的厚度,具体公式如下:n=D/d;步骤S3:通过测试模块测试出激光去除每层蓝宝石效率,即得到加工每层蓝宝石挖槽所需的时间t,则能得到加工蓝宝石挖槽所需的总时间T,具体公式如下:T=n*t;步骤S4:根据步骤S2得到的层数n对挖槽模型进行分层,生成模块通过矢量线来模拟扫描轨迹,并将模拟得到的每层扫描轨迹通过图形处理生成一条螺旋线;步骤S5:根据加工蓝宝石挖槽所需的总时间T,打开挖槽装置中的激光器(1),激光光束根据步骤S4生成的螺旋线,通过扫描模块按照每层的扫描轨迹,从蓝宝石表面逐层向内部扫描得到所述挖槽;所述蓝宝石激光挖槽方法所采用的挖槽装置包括:激光器(1)、反射镜(2)、扩束镜(3)、振镜(4)、聚焦镜(5)、平台(7)和计算机(8),将待加工蓝宝石样品(6)设置于平台(7)上,反射镜(2)、扩束镜(3)、振镜(4)和聚焦镜(5)由上至下依次设置在待加工蓝宝石样品(6)的上方,反射镜(2)、扩束镜(3)、振镜(4)、聚焦镜(5)和待加工蓝宝石样品(6)的中心位于同一直线上,激光器(1)位于反射镜(2)的一侧,计算机(8)与振镜(4)相连;所述计算机(8)包括建型模块、计算模块、测试模块、生成模块和扫描模块;所述激光器(1)发射出激光光束,所述激光光束经过反射镜(2)反射后,进入所述扩束镜(3)以减小其发散角度,之后所述激光光束进入由所述振镜(4)和所述聚焦镜(5)组成的扫描系统,最后垂直射向所述平台(7)上的所述待加工蓝宝石样品(6),实现激光光束对蓝宝石进行激光挖槽加工,并通过所述计算机(8)来控制激光扫描的轨迹;所述待加工蓝宝石样品(6)上加工的挖槽为一条闭合的挖槽。
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