[发明专利]包括液晶调制器的基板检查设备及液晶调制器的制造方法在审
| 申请号： | 201410462901.2 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104678611A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 具成谋;催硕;卢泳辰;金榕元;柳彰贤;郑治连 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1334 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;龚振宇 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板检查设备及一种基板检查设备的液晶调制器的制造方法。该基板检查设备包括：液晶调制器，被构造为设置在所述基板上；光源单元，设置为与液晶调制器分隔开；分束器，设置在液晶调制器与光源单元之间，并且被构造为将来自光源单元的光束反射至液晶调制器；测量单元，被构造为感测由基板反射的光束。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 液晶 调制器 检查 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检查设备，用于检测基板的缺陷，其特征在于，所述基板检查设备包括：液晶调制器，被构造为设置在所述基板上；光源单元，设置为与液晶调制器分隔开；分束器，设置在液晶调制器与光源单元之间，并且被构造为将来自光源单元的光束反射至液晶调制器；以及测量单元，被构造为感测来自液晶调制器的光束，其中，液晶调制器包括：透明基板；共电极，设置在透明基板上；液晶层，设置在透明基板上以与共电极接触；以及反射层，设置在液晶层上。
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