[发明专利]一种质谱计线性段测试方法

摘要

本发明公开了一种质谱计线性段测试方法。使用本发明能够有效确认质谱计的线性段，避免了其他各种因素对质谱计线性段测量的影响，降低了质谱计线性测量的不确定。本发明采用质谱计先后测量真空标准漏孔漏率对应的离子流和气体微流量计标准流量对应的离子流，由于真空标准漏孔漏率和气体微流量计标准流量已知，进而可以获得流量与离子流的比值，利用质谱计线性段流量与离子流的比值一定的关系，将测量获得的两个流量与离子流的比值进行对比，获得真空标准漏孔漏率与气体微流量计标准流量之间偏离线性的偏差，进而根据该偏差确定这两个流量是否在质谱计的线性范围内。

主权项

一种质谱计线性段测试方法，其特征在于，采用测试装置进行测试，所述测试装置包括气体微流量计(1)、真空阀门a(2)、真空阀门b(3)、真空标准漏孔(4)、恒温箱(5)、质谱计(6)、真空校准室(7)、真空阀门c(8)和抽气系统(9)；其中，真空标准漏孔(4)放置于恒温箱(5)中，真空校准室(7)一侧与一个三通连接，三通的其他两端分别经真空阀门b(3)与真空标准漏孔(4)连接、经真空阀门a(2)与气体微流量计(1)连接，气体微流量计(1)和真空标准漏孔(4)与三通之间的连接管路相对于质谱计(6)对称；质谱计(6)与真空校准室(7)连接，抽气系统(9)经真空阀门c(8)与真空校准室(7)连接；所有真空阀门初始状态为关闭状态；测试方法如下：步骤1，将真空标准漏孔(4)置于恒温箱(5)中，恒温24小时以上；步骤2，启动抽气系统(9)，打开真空阀门c(8)，对真空校准室(7)进行抽气，当真空校准室(7)达到质谱计(6)正常工作的真空度后，启动质谱计(6)；步骤3，当真空校准室(7)达到本底压力后，通过质谱计(6)测量此时对应的本底离子流I₀；步骤4，打开真空阀门b(3)，真空标准漏孔(4)中的气体以漏率Q_SL经真空阀门b(3)流至真空校准室(7)中，当真空校准室(7)中的压力稳定后，通过质谱计(6)测量真空标准漏孔(4)漏率Q_SL对应的气体离子流I_SL；步骤5，关闭真空阀门b(3)；步骤6，当真空校准室(7)达到本底压力后，打开真空阀门a(2)，气体微流量计(1)中的气体以设定的标准流量Q_FM经真空阀门a(2)流至真空校准室(7)中，当真空校准室(7)中的压力稳定后，通过质谱计(6)测量气体微流量计(1)提供的标准流量Q_FM对应的离子流I_FM；步骤7，根据Q_FM、I_FM、Q_SL、I_SL、I₀计算质谱计偏离线性的偏差D$D=\frac{Q_{\mathrm{FM}}}{I_{\mathrm{FM}}-I_0}-\frac{Q_{\mathrm{SL}}}{I_{\mathrm{SL}}-I_0}$当D的绝对值处于设定的偏差范围内，认为Q_FM和Q_SL处于质谱计的线性段范围内；步骤8，改变真空标准漏孔漏率或气体微流量计标准流量，重复步骤3～步骤7，确定质谱计的线性段。