[发明专利]在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法无效
| 申请号： | 201410466031.6 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104233472A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 商亚峰;滕跃;陶巍;郭庆;关凯月 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 132013*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法属于半导体衬底硅片加工技术领域。现有技术未能有效防止石英管的弯曲变形，石英管使用寿命很短。本发明之在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法其特征在于，在扩散炉炉膛底部安放碳化硅长托，将石英管贯穿炉体放置，石英管底部与碳化硅长托顶部接触，用把扣环将石英管两端固定。在扩散工艺过程中，由于碳化硅长托始终支撑着石英管，能够完全保证石英管始终保持平直状态，不会发生向下弯曲、管体变形的变化，石英管的使用寿命从3个月延长到15个月以上。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 设置 碳化硅 防止 石英管 变形 方法 | ||
【主权项】：
一种在扩散炉内设置碳化硅长托防止石英管变形的方法，其特征在于，在扩散炉炉膛底部安放碳化硅长托(7)，将石英管(1)贯穿炉体(2)放置，石英管(1)底部与碳化硅长托(7)顶部接触，用把扣环(3)将石英管(1)两端固定。
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