[发明专利]倒装LED芯片及其制备方法有效
申请号: | 201410468375.0 | 申请日: | 2014-09-15 |
公开(公告)号: | CN104269486A | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 李智勇;徐惠文;张宇;李起鸣 | 申请(专利权)人: | 映瑞光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/60;H01L33/02;H01L33/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 201306 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出了一种倒装LED芯片及其制备方法,提出的倒装LED芯片的制备方法具有免打线、散热性能好、电压低、亮度高、易封装等优势;相比较于其他倒装芯片,无需制备反射层、阻挡层、N链接层,使用设有图案的隔离层兼做反射层的作用,不需要制作面积大、厚度厚的PN焊接盘,制备方法简单,成本低。 | ||
搜索关键词: | 倒装 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种倒装LED芯片的制备方法,其特征在于,包括步骤:提供衬底,在所述衬底上依次形成N型GaN、量子阱层及P型GaN;依次刻蚀所述P型GaN和量子阱层,形成电极平台,所述电极平台暴露出所述N型GaN;在所述P型GaN上形成透明导电层;在所述透明导电层的表面形成设有图案的隔离层,所述隔离层的图案暴露出部分所述透明导电层,所述隔离层覆盖所述电极平台处的透明导电层、P型GaN和量子阱层的侧壁;在所述图案的隔离层上形成P电极,所述P电极通过图案与所述透明导电层相连,在所述N型GaN及部分隔离层的表面形成N电极。
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