[发明专利]一种低成本钼管靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201410469381.8 | 申请日： | 2014-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105478771B | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王铁军;穆健刚;张凤戈;陈锦;李建奎;陈鹏 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/12 | 分类号： | B22F3/12;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)11387 | 代理人： | 刘春成,荣红颖 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低成本钼管靶材的制造方法。该方法以钼粉为原料，依次包括装粉步骤、冷等静压步骤、烧结步骤以及热等静压步骤。其具有工艺简单，工艺路程短，质量易于控制，生产成本低，靶材纯度高，气体含量低，组织均匀、晶粒细小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 钼管靶材 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钼管靶材的制造方法，其特征在于，该制造方法以钼粉为原料，依次包括：装粉步骤，将钼粉装入预先制作好的中空模具中，所述钼粉是平均晶粒尺寸为2～4μm、纯度大于99.95％的Mo‑1粉；冷等静压步骤，将装好钼粉的中空模具放入冷等静压机中进行冷等静压处理，卸压脱模后获得冷等静压管坯，所述冷等静压处理的压力为220～250MPa，保压时间为20～40分钟；烧结步骤，将所述冷等静压管坯放入烧结炉进行烧结处理，烧结后随炉冷却得到烧结管坯，所述烧结炉的烧结温度控制在1800℃～2200℃，烧结时间控制在6～12h，所述烧结处理时通入氢气，氢气流量控制在3～5m3/h；和热等静压步骤，将所述烧结管坯放入热等静压机中进行热等静压处理，所述热等静压机的热等静压温度控制在1400～1600℃，热等静压压力控制在170～200MPa，热等静压保温时间为2～4h，所述热等静压步骤在惰性气体保护气氛下进行；在所述冷等静压步骤和所述烧结步骤之间存在对脱模后的冷等静压管坯进行整形的步骤。
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