[发明专利]凹坑配液过程形成光学透镜的装置和方法

摘要

光学模具包括间隔件空腔部分、透镜空腔部分和流动停止控制部分，该光学模具用来允许光学透镜材料流动于间隔件空腔部分与透镜空腔部分之间，且用来形成光学透镜阵列。光学模具还包括位于间隔件空腔部分之内的基座，用来在凹坑配液过程中支撑模具。一种使用光学模具的方法，该光学模具包括间隔件空腔部分、透镜空腔部分和流动停止控制部分，及选择性的基座。

主权项

一种光学透镜模具，其被使用于晶圆级凹坑配液的过程中，包括：间隔件空腔部分，其具有第一顶部；基座，该基座位于该间隔件空腔部分内，由该间隔件空腔部分的该第一顶部跨越该间隔件空腔部分的第一厚度；透镜空腔部分，其具有第二顶部；以及流动停止控制部分，其具有第三顶部、界定位于该间隔件空腔部分和该透镜空腔部分之间的渠道；其中该间隔件空腔部分、该透镜空腔部分和该流动停止控制部分沿着第一水平面对齐，使得光学透镜材料可以藉由该流动停止控制部分流动于该透镜空腔部分和该间隔件空腔部分之间；其中所述基座的高度大于使用所述光学透镜模具形成的光学透镜的最大厚度。