[发明专利]一种蒸镀装置以及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201410472730.1 | 申请日： | 2014-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN104294220A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;藤野诚治;殷杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法，涉及显示技术领域，可控制有机蒸汽的流向，从而提高有机材料的利用率，同时还能防止有机材料四处扩散引起的腔室污染，从而减少挡板的清洗次数，节约成本。所述蒸镀装置包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。用于蒸镀装置的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。
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