[发明专利]用于处理工艺废气的洗涤器有效
| 申请号： | 201410475214.4 | 申请日： | 2014-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN104437029B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 朴商淳;郑钟文 | 申请（专利权）人： | GNBS工程有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/75 | 分类号： | B01D53/75;B01D53/68 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 武晨燕;徐川 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于处理工艺废气的洗涤器，该洗涤器包括：等离子体处理单元，使等离子体接触工艺废气并分解所述工艺废气；冷却单元，冷却被所述等离子体处理单元分解后流入的所述工艺废气，以捕集反应副产物；以及，反应单元，使从所述冷却单元流出的工艺废气接触胺系物质，通过酸碱反应去除所述工艺废气中包括的水溶性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 工艺 废气 洗涤器 | ||
【主权项】：
一种用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，包括：等离子体处理单元，使等离子体接触工艺废气而分解所述工艺废气；冷却单元，冷却被所述等离子体处理单元分解后流入的所述工艺废气，以捕集反应副产物；以及反应单元，使从所述冷却单元流出的工艺废气接触胺系物质，通过酸碱反应去除所述工艺废气中含有的水溶性气体，其中，所述冷却单元包括：冷却外壳，使从等离子体处理单元流出的所述工艺气体流入；第一冷却板，对流入的所述工艺废气进行一次冷却，以捕集工艺废气的反应副产物；以及第二冷却板，对通过所述第一冷却板的所述工艺废气进行二次冷却，以捕集所述工艺废气的反应副产物。
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